日本于7月初宣布限制对韩出口半导体3种关键材料。此后,三星电子一直在对国内外产品进行测试,以替代日产氟化氢。但业界预测在产品投入量产前,至少需要3至6个月的测试时间。
此外,正在测试国内外氟化氢产品的SK海力士尚未将替代品投入量产。而LG显示已完成对韩国本土生产的高纯度氟化氢的测试,并开始将其用于OLED面板生产中。三星显示也将于近期完成测试。
高纯度的电子级氟化氢是氟精细化学品的一种,在半导体制造工艺中主要用于去除膜沉积后粘附在化学气相沉积炉内的不必要化学物质、等离子刻蚀、光刻胶图案化之后的蚀刻细槽或孔等流程。